X射线光电子能谱仪(XPS)u项目简介 XPS测试注意事项 1. XPS可以做的项目:常规全谱窄谱测试、俄歇谱、价带谱、深度溅射、MAPPING、角分辨 2. XPS测试的元素范围是Li-Cm,H、He元素不能测试,放射性元素请提前沟通 3. XPS数据分析可以等到元素的价态及半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号 4. 无特殊说明,默认是使用单色化AlKa源(Mono AlKa)能量是1486.6eV 5. 使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰,当有重叠谱峰的时候直接定量的结果不能参考。下方是常见的一些重叠谱峰的情况,解决方法是a.通过分峰拟合(这个是数据分析的内容)后再重新定量,b.测试其他轨道的峰,需要备注相应的轨道,默认是测试最强峰,c.如果是与部分元素的俄歇峰重叠,建议可以更换靶材试试,比如Mg靶 常见重叠谱峰有Li1s&Co3p;B1s&P2s;C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2;C1s&K2p;O1s&NaKLL;O1s&Pd3p3/2;O1s&Sb3d5/2;N1s&Mo3p3/2;N1s&GaLMM;Al2p&Pt4f5/2;Si2p&Pt5s;Mo3d5/2&S2s;Ta4f&O2s;Co2p&FeLMM;Mn2p&NiLMM;W4f&Zr4p;Al2p&Cu3p。 u样品要求 1. 样品状态:可为粉末、块状、薄膜样品 2. 粉末样品:20-30mg 3. 块状、薄膜样品:块体/薄膜样品尺寸小于5*5*3mm 注意:默认是一个样品测试一个位置,需要测试多个位置按照多个样品计费。薄膜、块体等样品,若样品表面组分不均匀,会造成测试结果的差异! u结果展示
(1)Thermo Scientific K-Alpha是相对常用的设备,其结果如下: 测试结果给出的是VGD格式和EXCEL格式测试结果。EXCEl格式文件用ORIGIN软件作图;VGD格式文件可以用Avantage分析软件打开。 (2)PHI的格式如下: 测试结果给出的是原始文件SPE格式和EXCEL格式。EXCEL格式文件用Origin软件作图;SPE格式需要软件Multipak打开(但定量需要注意灵敏度因子)。我们也提供XPS数据分析服务!如果您需要XPS数据分析与作图服务,请联系工程师15071040697
1. 样品精细谱扫出谱峰?为什么全谱里没有呢? 全谱主要是用来定性分析的,设置参数的步长比较大,含量低的在全谱里扫不出谱峰。但是精细谱扫出谱峰就表示有该元素。 2. 每种元素的检测限一样么?不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。 3. 怎么判断拟合是好是坏,是拟合了两个峰算好还是拟合了三个峰算好?看波动大小,越小越好;还要看对应的物理意义。波动如下图所示。具体拟合几个峰,要参考样品本身的情况,以及拟合的贴合度,没有严格的界定哪个更好。 u测试提示: 1.可开正规测试发票,附带测试清单。 2.有腐蚀性,毒性,或其他有危害性等特殊样品要事先告知测试人员,测试人员也要告知样品方哪些样品不能测或会对仪器产生损伤,测试后会对样品产生哪些变化; 3.客户需提供详细的样品资料,包括元素,主要成分和详细测试参数及条件。和测试人员充分讨论,商定最终测试条件; 4.测试人员与顾客通过QQ,微信或邮件沟通,出现测试纠纷,邮件或聊天记录将作为重要的仲裁依据;请加QQ和技术人员交流。QQ:82187958。微信:15071040697 5.杜绝测试、解析和合成违反国家相关法律法规的样品,一经发现将追究其法律责任。 XPS 不仅能够给出材料表面的化学组成及含量,而且可以分析出化学价态、化学键等信息。角分辨XPS可以在极薄的表层内对化学信息进行表征,利用成像XPS技术,可以提供分析区域内的元素及其化学状态分布的信息图像,并可由图得谱。此外,配合氩离子刻蚀技术,可以对材料内部进行深度剖析,进一步扩大其检测范围。工作原理及特点XPS技术的理论基础源于德国物理学家赫兹于1887年发现的光电效应,其结构如下图所示... 白光干涉仪的原理与应用白光干涉仪由于具有精度高和非接触式测量的明显测量优点,被广泛应用于各类加工样品和精密器件的表面特征检测,涉及的学科已经超过30个,助力于许多重大科技领域,如MEMS传感器、超精密加工、纳米技术、航天科技、光学透镜以及摩擦磨损的研究等。就其原理,顾名思义,就是利用光的干涉原理。众所周知著名的双缝干涉试验,当光源为单色光时,光的双缝干涉条纹是一组平行等间距的明暗相间的直条纹... XPS基本基本概念和原理 XPS是基于光电效应来进行表面分析的。如图1所示,用能量为hν的特征X射线照射待测样品表面,光子将其全部能量转移给原子或分子中的束缚电子;由于X射线能量较高,主要是原子内层轨道上的电子被电离成自由电子。通过能量分析器和光电倍增管检测出射电子的能量及数量,根据爱因斯坦光电发射方程(Ek=hν-EB,其中:Ek为出射电子的动能;EB为样品中电子的结合能;hν为入射光子... 大家经常问XPS刻蚀效率问题,今天把标准参照做出来了,可以作为大家制定刻蚀时间依据!表2 刻蚀效率免责声明:部分文章整合自网络,因内容庞杂无法联系到全部作者,如有侵权,请联系删除,我们会在第一时间予以答复,万分感谢。 XPS价带谱计算价带位置VBXPS测得价带位置(Ev)XPS价带谱位移XPS中靠近费米能级的低结合能(0~35eV),主要设计非定域的或成键的轨道;XPS价带谱因其所用X射线源线宽的限制和X射线在价带区电离截面小的原因,信号强度弱,信噪比差,谱线紧靠一起,形成带状结构;XPS价带谱反应了固体价带结构的信息,因此可以提供固体材料的电子结构信息。由于XPS价带谱不能直接反映能带结构,还必须经过复... |