无机非金属材料的检测方法-EPMA（电子探针显微分析仪）

无机非金属材料有哪些检测方法？今天铄思百小编给大家介绍EPMA（电子探针显微分析仪）‍检测方法。

EPMA（电子探针显微分析仪）——微区成分分析

电子探针显微分析仪（EPMA）是扫描成像和成分分析一体化的强大的微区分析工具。

EPMA属于无损分析，应用广泛。对任何一种在真空中稳定的固体，均可以用电子探针进行成分分析和形貌观察，例如金属、硅酸盐材料、医学试样、纤维、氧化膜、涂层、废气颗粒、文物等。尤其在材料科学、地学、矿物学及冶金学等应用最为广泛。

EPMA的特点及应用：

精确定量分析(含超轻元素和微量元素)：电子探针是目前微区元素定量分析最准确的仪器。电子探针的检测极限（能检测到的元素最低浓度）一般为100-500ppm，不同测量条件和不同物质/元素有不同的检测极限。在作了基体修正以后，大多数情况下测试结果优于2%。

以硅酸盐玻璃的定量分析为例，定量分析结果如下，所有的分析结果均在国家标准规定的误差范围内。

定性分析：主要确定所分析的样品组成，以硅酸盐玻璃为例，典型的定性分析结果如下，包括谱图和归一化的半定量结果。

线分析：电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素及其含量变化的线分布曲线。如果和样品形貌像对照分析，能直观地获得不同元素在不同相或者区域内的分布及变化趋势。Cu/Cr/Ni/Cu多层结构的线扫描结果如下。

EPMA是微区形貌和成分一体化分析最有效的工具之一，广泛应用于金属及合金、半导体、地质、化工、能源、环境、陶瓷、玻璃、稀土氧化物、高分子、生物、医学、考古、刑侦等各领域。

超高分辨率和超高灵敏度面分析（BES电子像和元素分布图）：EPMA能够得到纳米颗粒、低含量元素和轻元素的面分布图。对材料晶界、析出相、沉淀物和夹杂相等成分分析有突出优势，灵敏度和分辨率明显优于能谱仪。

BSE电子像样品中的W元素分布图

BSE电子像样品中的Sb元素分布图

EDS和EPMA上WDS的比较：WDS和EDS对钛铝合金中的C元素面分布的测试对比，相同的区域、相同的加速电压和相同的测试时间：

EPMA上WDS测试结果

EDS测试结果

测试流程

1、客户提出测试要求（在线预约）

2、细节沟通（联系在线QQ）

3、下载填写测试委托单

4、测试委托单和样品邮寄

5、联系客服付款

6、安心等待

7、接受数据

8、后期服务

以上是对于测试的相关介绍，如有其它检测需求可以咨询实验室工程师，为您一对一服务。

温馨提示

1、不定期推出各种优惠活动，详情咨询客服。

2、测试前联系在线客服确认测试条件、检测费用、检测周期等。

检测咨询热线：15071040697      黄工QQ：82187958

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