XPS刻蚀是什么意思,有什么作用 二维码
发表时间:2023-09-07 09:34 XPS刻蚀是什么意思?有同学经常做XPS测试,却不太清楚XPS刻蚀是什么意思,今天武汉铄思百检测小编带大家详细了解一下XPS刻蚀。我们先来了解一下XPS。 X 射线光电子能谱( X-ray photoecectron spectroscopy, XPS) 技术是一种通过一束入射到样品表面3~10nm 深度的光子束,检测材料表面信息的无损测量技术。XPS 技术能很好地使样品保持其原有的结构信息,可用于定性和定量分析材料表面的元素组成和含量,以及分析元素的化学价态、化学键 等信息。 那XPS刻蚀是什么意思呢? XPS刻蚀原理介绍:XPS就是单原子深度剖析,利用离子束刻蚀表面层或者表面污染层,从而获取亚表层信息。 XPS 分析与一系列离子枪循环刻蚀结合,得到定量信息和厚度信息。 将物质从样品上剥离之前,记录下样品表面的能谱或一组能谱。 离子束在样品表面一个正方形或矩形区域内作光栅式扫描,刻蚀表面。 经过一次刻蚀循环后,遮挡住离子束,记录下一组能谱。 如此重复刻蚀、能谱采集,直到剖析到所需深度。 XPS刻蚀是什么意思,XPS刻蚀有什么作用呢? 由于样品本身的层状结构如镀膜、氧化和钝化等原因导致其在深度方向上化学状态的差异。前面提到的非破坏性方法仅限于检测物体表面1~10nm内的组分变化,但为了获得大于10nm深度的信息,必须在XPS设备的分析室用惰性气体离子轰击,对样品表面进行刻蚀。 XPS刻蚀深度剖析主要是研究元素化学信息在样品中的纵深分布。通过利用氩离子枪对样品表面进行氩离子溅射剥离,控制合适的溅射强度及溅射时间,将样品表面刻蚀到一定深度,然后进行取谱分析。为了获得准确的溅射深度,一般采用与被测样品相近或相同的厚度标准物质校准溅射速率,从而根据溅射时间计算得到校准后对应元素分布的溅射深度。 为了避免刻蚀采用的离子束与被测样品的相互作用,得到高质量的深度剖析测量结果,刻蚀必须在高真空下进行。刻蚀和取谱交替操作,便可得到样品化学信息随深度的变化规律,极大地扩展了 XPS的检测范围。 XPS刻蚀是什么意思? 简单来说就是:xps测试深度是纳米级别的,所以可以结合溅射去除表面氧化,刻蚀样品表面,得到深层的有效信息。 图为XPS刻蚀的数据图谱 -END- 本公司位于湖北武汉,从事检测行业十多年,专业提供XPS、ICP、SEM+EDS/SEM云视频 TEM+EDS/TEM云视频、XRD、AFM、BET、TG-DSC、粒度、Zeta电位、RAMAN、顺磁、核磁、荧光等测试服务。我们一直致力于为高校、科研院所、企业提供一站式专业测试服务。欢迎各行各业咨询!欢迎开展科研项目合作、科研经费报销合作等。长期合作价格优惠。 温馨提示 1、不定期推出各种优惠活动,详情咨询客服。 2、测试前联系在线客服确认测试条件、检测费用、检测周期等。 检测咨询热线:15071040697(手机同微信) 黄工QQ:82187958 公司网站:www.sousepad.com 武汉铄思百检测技术有限公司 做XPS刻蚀怎么收费?扫描下方二维码获取详细报价 下一篇xps元素灵敏度因子
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