聚焦离子束扫描电镜（FIB-SEM）

设备型号

ZEISS Crossbeam 540；Helios G4 PFIB HXe；Helios 600i

样品准备须知！！！

样品要求：

1、无挥发性，固体、块体长宽最好小于20mm，高度小于4mm。

2、样品要求导电性良好，如果导电性比较差的话需要进行喷金或喷碳处理。

3、透射样品制备只保证切出的样品厚度可以拍透射。

4、fib+TEM、剖面分析，可选择按时间云视频拍摄，实时观看。（推荐）

5、定位会采用视频或者发照片的形式让您确定，一但确定好，后续切样发现内部结构不符合预期（比如样品内部有洞，膜层分离等情况）不再进一步制样了，此位置也需要按5折收费，定位请慎重选择

样品测试填写要求注意事项

1.样品数量：填写需要测试样品的数量

2.样品编号(名称)：请输入该组样品编号，以逗号分隔，例如1,2,3

3. 样品材质：

如陶瓷，铝合金，蓝宝石，碳纤维，无机薄膜等

4.样品所含元素：

样品所含元素请务必填写清楚，因考虑到保护层W/Pt与Pt/Au在同一周期，在做TEM能谱时，会难区分开。如若不填写清楚，后期不支持免费复测。

5.样品脆性：脆性/韧性

6. 样品是否易氧化：易氧化/不易氧化

7. 样品形态：块体/薄膜/粉末

如果需要视频定位，请您提前联系项目经理沟通确认。

8.样品是否含磁性元素（铁钴镍锰）：不含磁性元素/含有，但磁铁吸不动/含有，磁铁能吸动

请验证确认后，如实填写。

9. 是否需要喷金:是/否

喷金可增加样品导电性

10.是否需要视频定位：是/否

11. 请注明样品切样位置

12. 测试项目：TEM制样/SEM剖面分析/三维原子探针制样/三维重构/微纳加工/其他

计价方式: 按样品计费（一般硬度材料）/按样品计费（超硬度材料）/按时间收费

含陶瓷，钛酸锶，蓝宝石等材质为超硬材料，超硬材料切割难度大，耗时更长。

本次是否做TEM:是/否

是否需要APT样品台: 不需要，自己可提供/按使用位置付费/需要

FIB-SEM 相关测试要求

比如取样位置、文献及其他相关测试要求

其他 相关测试要求：

上传测试单：

聚焦离子束扫描电镜（FIB-SEM）

项目简介

用途及功能：

1.定点剖面形貌和成分表征

2. TEM样品制备

3. 微纳结构加工

4.
芯片线路修改

5.切片式三维重构

6.材料转移

7.三维原子探针样品制备

适用领域：

结构分析、材料表征、芯片修补、生物检测、三维重构、材料转移等，该系统可适用于横截面和断层扫描，3D分析，TEM样品制备及纳米图形加工；

样品要求

1、无挥发性，固体、块体长宽最好小于20mm，高度小于5mm。

2、样品要求导电性良好，如果导电性比较差的话需要进行喷金或喷碳处理。

3、透射样品制备只保证切出的样品厚度可以拍透射。

结果展示

常见问题

1. fib切的透射薄片有孔或者部分脱落有影响吗？

切样的目的就是为了减薄样品，一些材质减薄后就会出现部分脱落，穿孔的现象，属于正常现象，有薄区，不影响透射拍摄即可，比如离子减薄制样就是要在材料上穿一个孔。

测试提示：

1.可开正规测试发票，附带测试清单。

2.有腐蚀性，毒性，或其他有危害性等特殊样品要事先告知测试人员，测试人员也要告知样品方哪些样品不能测或会对仪器产生损伤，测试后会对样品产生哪些变化；

3.客户需提供详细的样品资料，包括元素，主要成分和详细测试参数及条件。和测试人员充分讨论，商定最终测试条件；

4.测试人员与顾客通过QQ，微信或邮件沟通，出现测试纠纷，邮件或聊天记录将作为重要的仲裁依据；请加QQ和技术人员交流。QQ：82187958。微信：15071040697

5.杜绝测试、解析和合成违反国家相关法律法规的样品，一经发现将追究其法律责任。